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無塵車間不同**空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點：對于300000級空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器;空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，應采用初、中、高效過濾器三級過濾器;或亞空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統的末端。

分類：

1.亂流式

空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室，并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化**(換氣次數越多，凈化**越高)。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。

優點：構造簡單、系統建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制

無塵室

程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

2.層流式

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率**之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需定較高之環境使用，一般其無塵室等級為Class1~100。其型式可分為二種：

⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。

缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

⑵垂直層流式：房間口板**以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。

優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，口板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

3.復合式

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

⑴潔凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域**覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。

此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。

構成：

⑴口板系統：包括吊桿、綱梁、口板格子梁。

⑵空調系統：包括空氣艙、過濾器系統、風車等。

⑶隔墻板：包括窗戶、門。

⑷地板：包括高架地板或防靜電地板、以及環氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無塵室之建筑主體構造：一般是用鋼筋或骨水泥

五大特性：

1*久性;2成本;3適應性;4維護性;5清洗。

⑴*久性：

無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統的*久材料。而*久性，同時也依賴無塵室等級來建造。半導體Fabs傾向選擇鋁，基于它的*久性，，它不是便宜的物質。

⑵清洗：

在制藥和生物工學工業，無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止過濾性病毒或細菌的污染之特性。在市場，清洗真正地是一個**重要的企業。

⑶成本：

微電子C/R建設費可能花費到億。fab能更快的被建造起來，產品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。"錢"將成為一個很重要的考慮因素。

⑷適應性：

一些廠商認為適應性可節省一筆金錢，而適應性意指系統可任意移動或改變而不會招致*的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關鍵，所以他們從不將**初的設計定型。

⑸維護性：

對無塵車間C/R而言，較嚴格要求的部分為地板、口板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優先級。在應用力面、口板、地板及墻壁三者之中**重要的為口板，其包含　HEPA　及　ULPA　等濾網，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會因各個不同的需要，便其分開來，供應各個不同區域的小房間，曾有人說：若建造之預算因某種原因被限制，除了少數的小錢外，其口板將趨于更貴的地步，其實口板是一個頗復雜的系統其應該嚴格地過濾粒子，故其設計應該**。