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電子無(wú)塵車(chē)間凈化風(fēng)淋室設(shè)備

發(fā)布:盛之源凈化設(shè)備         閱讀:1519         日期:2023-03-18

電子無(wú)塵車(chē)間凈化風(fēng)淋室設(shè)備文章概要:電子無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)的產(chǎn)品都是很精細(xì)的東西,一個(gè)小的灰塵就會(huì)讓這個(gè)電子器件短路或者直接報(bào)廢的,所以電子廠跟半導(dǎo)體廠都是要求做電子無(wú)塵車(chē)間的,還需要恒溫恒濕的狀態(tài)。電子行業(yè)對(duì)于電子無(wú)塵車(chē)間的要求:無(wú)塵車(chē)間也叫潔凈廠房、潔凈室、無(wú)塵室,電子無(wú)塵工廠生產(chǎn)工藝有集成電路等分類眾多。由于電子無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)工藝種類繁···

電子無(wú)塵車(chē)間凈化風(fēng)淋室設(shè)備

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電子無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)的產(chǎn)品都是很精細(xì)的東西,一個(gè)小的灰塵就會(huì)讓這個(gè)電子器件短路或者直接報(bào)廢的,所以電子廠跟半導(dǎo)體廠都是要求做電子無(wú)塵車(chē)間的,還需要恒溫恒濕的狀態(tài)。

電子行業(yè)對(duì)于電子無(wú)塵車(chē)間的要求:無(wú)塵車(chē)間也叫潔凈廠房、潔凈室、無(wú)塵室,電子無(wú)塵工廠生產(chǎn)工藝有集成電路等分類眾多。由于電子無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)工藝種類繁多,對(duì)潔凈度等級(jí)要求也不同,高的很高,低的很低;對(duì)粒子粒徑控制的要求也不同,范圍約為0.1-5um;對(duì)溫濕度控制的要求相對(duì)較高,如集成電路前道工序一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)為22℃(精度±0.1至±1℃),相對(duì)濕度基數(shù)為40%(精度±2至±5℃);正壓值要求的梯度**,隨著潔凈度的變化而從高到低變化,差值5-10pa。

電子無(wú)塵車(chē)間的冷負(fù)荷比其他行業(yè)的無(wú)塵車(chē)間大很多,單位冷負(fù)荷達(dá)400-500W/㎡很常見(jiàn)。由于冷負(fù)荷大,一般情況下,冬季也需要供冷,這是電子行業(yè)的特點(diǎn)。

電子行業(yè)電子無(wú)塵廠房生產(chǎn)工藝過(guò)程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類繁多,且量也大,所以需要的排風(fēng)量和新風(fēng)量也大。新排風(fēng)的節(jié)能措施也是行業(yè)特點(diǎn)之一,排放前要做處理,使排風(fēng)符合**要求。

另外電子行業(yè)電子無(wú)塵廠房生產(chǎn)工藝有**、抗微振的要求,并且大宗氣體和特種氣體種類多,對(duì)純度和潔凈度要求也是很高的。

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