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無塵車間的潔凈度可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在寬大的無塵車間內要**潔凈是不可能的。因此技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。

無塵車間空氣的一個進步，是**新空氣凈化器和潔凈。它有一個可替換的過濾器，你需要一年更換一次，但實際上，**好的部分是維修過程可瞬間完成，只需要幾分鐘的。這些空氣凈化器捕獲并殺死空氣中細菌，霉菌和病毒。更重要的是，它為企業提供了潔凈的工作環境，

無塵車間所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室**主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵車間