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要使電子潔凈室的潔凈度等級(jí)達(dá)到相應(yīng)的要求，風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等。應(yīng)按要求進(jìn)行控制，潔凈室的照度和截面風(fēng)速應(yīng)按設(shè)計(jì)或規(guī)范進(jìn)行控制。同時(shí)電子萬(wàn)級(jí)潔凈室對(duì)靜電的要求嚴(yán)格。過(guò)于干燥的車間容易產(chǎn)生靜電，會(huì)損害CMOS集成。以電子萬(wàn)級(jí)潔凈室為例，電子制造萬(wàn)級(jí)潔凈室的技術(shù)指標(biāo)如下：

1.電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室的噪聲級(jí)(空態(tài)):不大于65dB(A)，

2.電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室的溫度應(yīng)控制在22左右，相對(duì)濕度在50-60%之間(特殊潔凈室有的溫濕度規(guī)定)。

3.電子制造工廠垂直流萬(wàn)級(jí)潔凈室的全分布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室的全分布比不應(yīng)小于40%，否則為局部單向流。

4.萬(wàn)級(jí)潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

5.電子制造業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室的新風(fēng)量應(yīng)取以下兩項(xiàng)中的大值：補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和維持室內(nèi)正壓值所需的新風(fēng)量之和。

6.根據(jù)熱濕負(fù)荷計(jì)算，確定電子廠房萬(wàn)級(jí)潔凈室的送風(fēng)量，保障潔凈室每人每小時(shí)的新風(fēng)量不小于40m。

7.電子制造業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的加熱器應(yīng)設(shè)置新風(fēng)和超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)。如果采用點(diǎn)加濕，應(yīng)提供無(wú)水保護(hù)。在寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)有防凍保護(hù)措施。

無(wú)論是基于生產(chǎn)工藝設(shè)計(jì)什么樣的無(wú)塵車間潔凈室，一般都會(huì)根據(jù)客戶的選擇設(shè)備清單進(jìn)行綜合評(píng)估，綜合工藝、空間等各種因素，確定采用哪種凈化方案，以及凈化設(shè)備的選擇。為了空氣處理效果理想化，降低噪音，萬(wàn)級(jí)潔凈室工程一般采用組合式空氣處理機(jī)組冷水機(jī)組加高效送風(fēng)口的方案，并根據(jù)技術(shù)評(píng)估后的方案為客戶合理的設(shè)備選型。技術(shù)調(diào)整后的配套方案不僅為客戶后續(xù)的穩(wěn)定運(yùn)行打下了良好的基礎(chǔ)，也為客戶節(jié)省了不必要的開支。

制造電子潔凈室是工業(yè)潔凈室中技術(shù)性很強(qiáng)的凈化工程，施工單位的技術(shù)水平將直接影響整個(gè)工程。所以電子制造行業(yè)的萬(wàn)級(jí)凈化工程要謹(jǐn)慎對(duì)待，與**的潔凈室工程服務(wù)商合作會(huì)是一個(gè)比較好的保險(xiǎn)選擇。