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要使電子潔凈室的潔凈度等級達到相應的要求，風量、溫度、濕度、壓差、設備排風等。應按要求進行控制，潔凈室的照度和截面風速應按設計或規范進行控制。同時電子萬級潔凈室對靜電的要求嚴格。過于干燥的車間容易產生靜電，會損害CMOS集成。以電子萬級潔凈室為例，電子制造萬級潔凈室的技術指標如下：

1.電子制造廠萬級潔凈室的噪聲級(空態):不大于65dB(A)，

2.電子制造廠萬級潔凈室的溫度應控制在22左右，相對濕度在50-60%之間(特殊潔凈室有的溫濕度規定)。

3.電子制造工廠垂直流萬級潔凈室的全分布比不應小于60%，水平單向流潔凈室的全分布比不應小于40%，否則為局部單向流。

4.萬級潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區的靜壓差不應小于5Pa。

5.電子制造業萬級潔凈室的新風量應取以下兩項中的大值：補償室內排風量和維持室內正壓值所需的新風量之和。

6.根據熱濕負荷計算，確定電子廠房萬級潔凈室的送風量，保障潔凈室每人每小時的新風量不小于40m。

7.電子制造業萬級潔凈室凈化空調系統的加熱器應設置新風和超溫斷電保護。如果采用點加濕，應提供無水保護。在寒冷地區，新風系統應有防凍保護措施。

無論是基于生產工藝設計什么樣的無塵車間潔凈室，一般都會根據客戶的選擇設備清單進行綜合評估，綜合工藝、空間等各種因素，確定采用哪種凈化方案，以及凈化設備的選擇。為了空氣處理效果理想化，降低噪音，萬級潔凈室工程一般采用組合式空氣處理機組冷水機組加高效送風口的方案，并根據技術評估后的方案為客戶合理的設備選型。技術調整后的配套方案不僅為客戶后續的穩定運行打下了良好的基礎，也為客戶節省了不必要的開支。

制造電子潔凈室是工業潔凈室中技術性很強的凈化工程，施工單位的技術水平將直接影響整個工程。所以電子制造行業的萬級凈化工程要謹慎對待，與**的潔凈室工程服務商合作會是一個比較好的保險選擇。