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潔凈室以送風(fēng)-過濾凈化-回風(fēng)為循環(huán)，能使室內(nèi)環(huán)境中的灰塵、細(xì)菌、微粒等固體顆粒物大大減少，以達(dá)到相應(yīng)的潔凈度來滿足生產(chǎn)需要。簡單來說，潔凈室工程是一個與“氣流”的工程，那么在潔凈室的運(yùn)作過程中，氣流受那些因素的影響呢?

一、氣流形式

氣流形式一般分為亂流和層流，亂流是不規(guī)則的氣流，而層流是指平行流動的氣流。亂流的凈化原理是“稀釋”，層流的凈化原理是“活塞推出”——把潔凈室當(dāng)作一個汽缸，那么層流便是一個活塞，潔凈新風(fēng)直接把室內(nèi)空氣推出去。在氣流形式的選擇上，需要兼顧多方因素綜合統(tǒng)籌考慮。

二、影響因素

1、氣流的速度流向受室內(nèi)潔凈度等級影響，在相應(yīng)潔凈等級下選擇的過濾器過濾效率將影響氣流速度，若室內(nèi)有產(chǎn)塵設(shè)備，可采用較低效率的過濾器并加快換氣速度來保障室內(nèi)潔凈度，或采用較率的過濾器來降低氣流流速，以此節(jié)約能耗。

2、氣流在遇到障礙物時會形成后退，新風(fēng)的持續(xù)傳輸，導(dǎo)致氣流會在原地形成渦流。因此潔凈室內(nèi)的各儀器設(shè)備等都應(yīng)合理放置。可以在在各操作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流表象削減至較低水平，在室內(nèi)裝修材料的選擇上也應(yīng)合理合規(guī)，提前做好設(shè)備的規(guī)劃，盡可能避免氣流變成渦流。

3、影響無塵設(shè)備的氣流要素很多，如制程設(shè)備、人員、整理室拼裝材、照明器具等都會對氣流速度造成一定影響，因此還要注意不同設(shè)備表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，這樣可以確保作業(yè)人員在工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走，若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至鳎藭r大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。